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J-GLOBAL ID：200903030399751430

多波長光ヘテロダイン干渉測定方法および装置

Inventor： 飯島 仁
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 大塚 康徳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002028329
Publication number (International publication number)：2003227704
Application date： Feb. 05, 2002
Publication date： Aug. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】位相測定の測定レンジを拡大し、且つ高精度測定に対応することができる多波長光ヘテロダイン干渉測定方法を提供する。【解決手段】2つ以上の異なる波長の光を用いる多波長光ヘテロダイン干渉測定方法であって、複数の異なる波長による測定から得られる位相を用いて等価的に長い波長で測定した時に得られる第1の等価位相を計算する第1の演算工程と、複数の異なる波長の一つまたは複数の測定位相を任意量変化させた位相信号を求め、この位相を用いて異なる第2及び第3の等価位相を計算する第2の演算工程と、第1乃至第3の等価位相を用いて位置情報の演算を行なう第3の演算工程とを具備する。

Claim (excerpt)：

2つ以上の異なる波長の光を用いる多波長光ヘテロダイン干渉測定方法であって、複数の異なる波長による測定から得られる位相を用いて等価的に長い波長で測定した時に得られる第1の等価位相を計算する第1の演算工程と、前記複数の異なる波長の一つまたは複数の測定位相を任意量変化させた位相信号を求め、この位相を用いて異なる第2及び第3の等価位相を計算する第2の演算工程と、前記第1乃至第3の等価位相を用いて位置情報の演算を行なう第3の演算工程とを具備することを特徴とする多波長光ヘテロダイン干渉測定方法。

F-Term (21)：

2F064AA09 ,  2F064CC10 ,  2F064DD04 ,  2F064EE02 ,  2F064FF01 ,  2F064FF02 ,  2F064FF06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG33 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG42 ,  2F064GG47 ,  2F064GG51 ,  2F064GG55 ,  2F064HH01 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ05