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J-GLOBAL ID：200903030415277646

真空装置

Inventor： 森 澄雄
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 尾川 秀昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992279374
Publication number (International publication number)：1993321835
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 真空部内を真空にするドライポンプの排ガスを排ガス処理装置により排ガス処理して排気する真空装置において、ドライポンプの背圧異常を迅速に発見すると共に、生成物の配管への付着を防止し、生成物を一箇所に集中させて除去を容易にする。【構成】 ドライポンプ3と排ガス処理装置4(、4a)との間における圧力を検出する圧力検出器6を設ける。また、排気経路2に加熱手段10を設けたり、生成物推積室12を設けたりする。【効果】 圧力検出器6の検出値が異常に高い(大気圧ないしはそれに近い)値になると異常と検知して警報を発するようにできる。そして、配管2が加熱されるので排ガスが結晶化せず、生成物推積室12にのみ有効に生成物が推積する。

Claim (excerpt)：

真空部内を真空にするドライポンプの排ガスを排ガス処理装置により排ガス処理して排気する真空装置において、排気経路の上記ドライポンプと排ガス処理装置との間における圧力を検出する圧力検出器を設けたことを特徴とする真空装置

IPC (2)：

F04B 37/16 ,  H01L 21/302