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J-GLOBAL ID：200903030429045349

液晶表示装置の製造装置及びその製造方法

Inventor：
松田 明寛

About 松田 明寛


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000219815
Publication number (International publication number)：2002040398
Application date： Jul. 19, 2000
Publication date： Feb. 06, 2002
Summary：
【要約】【課題】 2枚の基板の間を容易に短時間で高い位置合わせ精度で位置合わせすることができる液晶表示装置の製造装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 加圧モータ27により上定盤13と下定盤12とを互いに加圧しながら、アライメントマーク33及び34の位置を検出し、それらの位置ずれが、例えば0.3μm以内となるように位置調整テーブル26により下定盤12の位置を調整する。そして、最終的な加圧の大きさは、例えば1960Nとし、この状態における下基板31と上基板32との間隔はシール剤42中に分散している粒子状のギャップ剤の直径とほぼ一致しており、約5μm程度である。その後、例えば1960Nの圧力を印加した状態で、シール剤42の周囲に塗布された光硬化性樹脂43に紫外線を照射することにより、光硬化性樹脂43を硬化させる。
Claim (excerpt)：
液晶を挟み相対向する第1及び第2の基板を貼り合わせて構成される液晶表示装置の製造装置において、夫々前記第1及び第2の基板を吸着する第1及び第2の基板吸着手段を備え互いに平行に設けられた第1及び第2の定盤と、少なくとも前記第1及び第2の定盤が内部に設けられる真空チャンバと、前記第1の定盤上における前記第1の基板の板面方向へのずれを拘束した状態で支持する第1の拘持手段と、前記第2の定盤上における前記第2の基板の板面方向へのずれを拘束した状態で支持する第2の拘持手段と、前記第1及び第2の定盤を加圧することにより前記第1及び第2の基板同士を圧接する加圧手段と、この加圧手段が前記第1及び第2の定盤を加圧している間に前記第1及び第2の基板同士の位置合わせを行う位置合わせ手段と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
IPC (3)：
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339
FI (3)：
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339
F-Term (15)：
2H088FA16 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088MA17 ,  2H089MA07Y ,  2H089NA22 ,  2H089NA25 ,  2H089QA12 ,  2H089TA07 ,  2H089TA15 ,  2H090JC11 ,  2H090JC17 ,  2H090LA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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