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J-GLOBAL ID：200903030431179280

プローブホルダー及びそのホルダーを用いた 走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 鶴旨 篤司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994302300
Publication number (International publication number)：1996160056
Application date： Dec. 06, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明はかかる事情に鑑みて成されたもので、カンチレバーの破損や汚染を防止するマイクロカンチレバーホルダーおよび走査型プローブ顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】 本発明では、光が通過する開口部とカンチレバーを保持するためのカンチレバー取り付け部とを設けたホルダー基台部材と、開口部とホルダー基台部材に取り付けられたカンチレバーとを覆う遮蔽部材とを有し、遮蔽部材は、試料表面測定時には、測定できる状態まで移動若しくは取り外し可能であることとした。

Claim (excerpt)：

光が通過する開口部とカンチレバーを保持するカンチレバー取り付け部とを設けたホルダー基台部材と、前記開口部と前記ホルダー基台部材に取り付けられたカンチレバーとを覆う遮蔽部材とを有し、前記遮蔽部材は、試料表面測定時に、測定できる状態まで移動若しくは取り外し可能であることを特徴とするプローブホルダー。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30