粒子ビーム・コラム

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995330855
Publication number (International publication number)：1996273569
Application date： Dec. 19, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【課題】電子ビームによって試験片の表面を走査して試験片の表面から放出される電子を検出する粒子ビーム・コラム関し、試験片の表面形状及び材料の特徴を高解像度で画像化および測定することを目的とする。【解決手段】粒子源と、試験片の表面から放出される電子を集束することにより後方散乱電子の内側環状帯と二次電子の外側環状帯とに電子を分散させる対物レンズと、粒子源と対物レンズとの間に位置し、後方散乱電子の内側環状帯を検出する後方散乱電子検出器と、粒子源と対物レンズとの間に位置し、二次電子の外側環状帯を検出する二次電子検出器とを具備する。

Claim (excerpt)：

試験片の表面形状及び材料の特徴を高解像度で画像化し、測定するための粒子ビーム・コラムであって、該粒子ビーム・コラムは、試験片から二次電子及び後方散乱電子を含む電子を放出させるように、一次粒子ビーム軸に沿って飛翔し、試験片に衝突する一次ビームを生成する粒子源と、前記一次ビーム軸に対しその半径方向に電子を分散させ、分散された電子が後方散乱電子からなる内側環状帯と二次電子からなる外側環状帯とを形成するように、前記電子を集束する対物レンズと、前記粒子源と前記対物レンズとの間に位置し、前記後方散乱電子の内側環状帯を検出する後方散乱電子検出器と、前記粒子源と前記対物レンズとの間に位置し、前記二次電子の外側環状帯を検出する二次電子検出器とを具備することを特徴とする粒子ビーム・コラム。

IPC (7)：

H01J 37/10 , G01N 23/225 , H01J 37/12 , H01J 37/14 , H01J 37/244 , H01J 37/28 , H01L 21/027

FI (7)：

H01J 37/10 , G01N 23/225 , H01J 37/12 , H01J 37/14 , H01J 37/244 , H01J 37/28 Z , H01L 21/30 541 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

走査形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-110722 Applicant：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
走査形電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-334894 Applicant：株式会社日立製作所
特表平4-504325

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