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J-GLOBAL ID：200903030462785110

測定装置のための評価及び最適化

Inventor： アーチー、チャールズ、エヌ ,  バンケ、ジュニア、ウィリアム、ジー
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
Agent (3)： 坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004563147
Publication number (International publication number)：2006510912
Application date： Dec. 20, 2002
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：

精度及び正確度に基づいて全体の測定不確実性(TMU)を求めることによって、測定装置を評価し、最適化する方法及び関連したプログラムである。TMUは、線形回帰分析に基づいて、正味残余誤差から基準測定システムの不確実性(URMS)を除去することによって計算される。TMUは、被試験測定システムが製品の実際のばらつきを検出する能力を有するかどうかについて客観的かつより正確に表示する。

Claim (excerpt)：

被試験測定システム(MSUT)を評価する方法であって、 (a)複数の構造を有する基板を設け、 (b)基準測定システム(RMS)により前記複数の構造の寸法を測定して第1のデータの組を生成し、前記第1のデータの組からRMS不確実性(URMS)を計算し、ここでRMS不確実性(URMS)は、RMS精度及び独自に求められたRMSの全測定不確実性(TMURMS)の1つとして定義され、 (c)前記MSUTを用いて前記複数の構造の前記寸法を測定して第2のデータの組を生成し、前記第2のデータの組から該MSUTの精度を計算し、 (d)前記第1及び第2のデータの組の線形回帰分析を行って前記MSUTの訂正された精度及び正味残余誤差を求め、 (e)前記正味残余誤差から前記RMS不確実性(URMS)を除去することによって、前記MSUTの全側定不確実性(TMU)を求める、 ステップを含むことを特徴とする方法。

IPC (7)：

G01N 13/10 ,  G01B 15/00 ,  G01B 21/02 ,  G01B 21/18 ,  G01B 21/20 ,  G01B 21/22 ,  G01N 13/16

FI (7)：

G01N13/10 E ,  G01B15/00 B ,  G01B21/02 A ,  G01B21/18 ,  G01B21/20 A ,  G01B21/22 ,  G01N13/16 A

F-Term (27)：

2F067AA23 ,  2F067AA24 ,  2F067AA26 ,  2F067AA31 ,  2F067AA42 ,  2F067BB01 ,  2F067CC17 ,  2F067FF14 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067QQ13 ,  2F067RR31 ,  2F067RR41 ,  2F069AA42 ,  2F069AA43 ,  2F069AA49 ,  2F069AA53 ,  2F069AA71 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069FF00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG08 ,  2F069HH30 ,  2F069NN16 ,  2F069NN25