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J-GLOBAL ID：200903030480603780

ハードディスク基板の研磨用組成物及びこれを用いる研磨方法

Inventor： 川島 雅博 ,  古崎 典子 ,  千野 美由紀 ,  鳴戸 俊也
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995320283
Publication number (International publication number)：1997143455
Application date： Dec. 08, 1995
Publication date： Jun. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 保存安定性、作業性がよく、且つ高品質の研磨面を与える研磨用組成物を提供する。【解決手段】 水溶性樹脂及び分散剤から成る溶質の少くとも一種を含む水性媒体中に砥粒を分散させてなり、砥粒に対するこれらの溶質の飽和吸着量が砥粒の表面積1m2 当り0.5mg以上であることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

水溶性樹脂及び分散剤から成る溶質の少くとも一種を含む水性媒体中に砥粒を分散させてなるハードディスク基板の研磨用組成物であって、砥粒に対するこれらの溶質の飽和吸着量が砥粒の表面積1m2 当り0.5mg以上であることを特徴とする研磨用組成物。

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 321 P