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J-GLOBAL ID：200903030491886473

静電チャック装置

Inventor： 武 石 浩 司 ,  木 村 弘 昭
Applicant, Patent owner： 株式会社芝浦製作所
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996072646
Publication number (International publication number)：1997260476
Application date： Mar. 27, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】 被処理物の外形寸法よりも大きな載置台であっても静電吸着力が劣化しないようにした静電チャック装置を提供する。【解決手段】 金属製電極は、複数個の電極片(8A,8B,8C)から構成されている。

Claim (excerpt)：

金属製の電極の外側を絶縁膜で覆い、直流電圧を印可することにより、被処理物を静電吸着するようにした静電チャック装置において、前記金属製電極は複数個の電極片から構成されていることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (4)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電チャック装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-067822   Applicant：株式会社ニコン