Pat

J-GLOBAL ID：200903030493562527

多価アリールスルホニウム光活性化合物を含む光画像化可能な組成物

Inventor： ロジャー エフ シンタ ,  ジェームズ エフ キャメロン ,  ティモシー ジー アダムス ,  マーサ エム ラジャラットナム ,  ミッチェル エフ クローニン
Applicant, Patent owner： シップレー カンパニー エル エル シー
Agent (1)： 佐伯 憲生 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997044543
Publication number (International publication number)：1998039500
Application date： Jan. 24, 1997
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、多価アリールスルホニウム化合物を含有するフォト酸ジェネレータ成分を含んでなるポジ型およびネガ型フォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 本発明は、多価アリールスルホニウム化合物を含有するフォト酸ジェネレータ成分を含んでなるポジ型およびネガ型フォトレジスト組成物を提供する。詳細には、この組成物光活性成分は、少なくとも1つの多価カオチンアリールスルホニウム化合物、好ましくは二価カオチン化合物を有し、この化合物は合成上好都合であり、本発明のレジスト組成は、優れたマイクロリソグラフィー特性を備えた深層紫外感光レジストを提供する。

Claim (excerpt)：

樹脂結合剤と、フォトレジスト組成物の露光されたコーティング層を現像可能とするのに十分な量の光活性成分と、を含んでなるフォトレジスト組成物であって、前記光活性成分が、2つ以上のカチオンを持つ少なくとも1つのアリールスルホニウム化合物を含んでなる複数のアリールスルホニウム光活性化可能な化合物を有することを特徴とするフォトレジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03C 1/73 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C09K 9/02

FI (6)：

G03F 7/004 503 A ,  G03C 1/73 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039 601 ,  C07C381/12 ,  C09K 9/02 B