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J-GLOBAL ID：200903030496157755

搬送方法及び搬送装置、露光方法及び露光装置

Inventor： 後藤 英司 ,  太田 稔也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 志賀 正武 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000052514
Publication number (International publication number)：2001244313
Application date： Feb. 28, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 様々な大きさを有するそれぞれのマスク(基板)を安定して搬送することができる搬送方法及び搬送装置、並びにこれを備えた露光方法及び露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置Sは、マスクケース11内のマスクMの大きさを検出する寸法検出系Rと、このマスクMを識別部Aに搬送する搬送装置Hと、マスクMの大きさに基づいて識別部AにおけるマスクMの位置決めを行い、所定の処理を行った後、このマスクMを投影露光部Eに搬送するよう指示する制御部9とを備えている。マスクMの大きさは搬送前に検出されるので、搬送装置HはマスクMの大きさに応じて安定した搬送を行う。

Claim (excerpt)：

収納容器に収容される複数の基板のうち少なくとも1つの基板を所定位置まで搬送する搬送方法において、前記収納容器に収容される基板の大きさを検出し、前記検出結果に基づいて前記基板が指定の大きさか否かを判別し、指定の大きさであると判別した基板を前記収納容器から取り出して前記所定位置まで搬送することを特徴とする搬送方法。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 G ,  B65G 49/07 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 516 Z

F-Term (55)：

5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031EA19 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031GA08 ,  5F031GA25 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA45 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031JA01 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA12 ,  5F031JA17 ,  5F031JA23 ,  5F031JA29 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA49 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA20 ,  5F031LA08 ,  5F031MA13 ,  5F031MA27 ,  5F031PA16 ,  5F046AA17 ,  5F046AA21 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC09 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA06 ,  5F046DA29 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14 ,  5F046DD04