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J-GLOBAL ID：200903030499860279
排ガスの除害方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
木戸 一彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997122360
Publication number (International publication number)：1998309434
Application date： May. 13, 1997
Publication date： Nov. 24, 1998
Summary：
【要約】【課題】 比較的多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスの除害処理を効率よく行える方法を提供する。【解決手段】 アルシンを選択的に除去する固体除去剤を充填したカラム1の下流に燃焼除害装置2を配置し、有害成分として多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスを、前記カラム1内の固体除去剤に接触させてアルシンを除去した後、燃焼除害装置2のバーナー3の火炎中でホスフィンを燃焼除害処理する。
Claim (excerpt)：
有害成分として多量のホスフィンと少量のアルシンとを含む排ガスの除害方法であって、前記排ガスを、アルシンを選択的に除去する固体除去剤に接触させた後、バーナー火炎中に導入することを特徴とする排ガスの除害方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B01D 53/34 120 A
, B01J 20/02 B
