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J-GLOBAL ID：200903030508724600
露光装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993220070
Publication number (International publication number)：1995073509
Application date： Sep. 03, 1993
Publication date： Mar. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 光ディスクのグルーブ及びピットを形成するための露光装置に関し、形成する溝のエッジを記録パワーによらず鋭利に形成できる露光装置を提供することを目的とする。【構成】 単一のレーザ光をハーフミラー等により複数の光に分割し、分割した複数の光をリレーレンズ等を用いて互いに変移させ、互いに変移させた複数の光を再びハーフミラー等により合成して一つの記録光とし、ガラス原盤等に照射する。
Claim (excerpt)：
形成すべき溝に対応した記録光を露光対象(1)に照射する露光装置において、光軸が互いに異なる位置に変位された複数の光(L11〜L14;L21〜L26)を合成することにより前記記録光を生成する記録光生成手段(1,2,5,9,11,21,3;1,2,5,9,11,51,3;1,2,5,61,3)を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2)：
G11B 7/26 501
, G03F 7/20
Cited by examiner (8)
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