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J-GLOBAL ID：200903030525953922

試料冷却装置

Inventor： 天草 貴昭
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 田中 隆秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995312435
Publication number (International publication number)：1997153338
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Jun. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】 試料ステージに設けたヒートコンダクタへの試料ホルダの押圧力を大きくすることおよび振動は伝え難く、熱流入が少ないヒートコンダクタを提供すること。【解決手段】 試料側熱シールド41,41′および冷熱源側熱シールド37,37′の相対的移動距離を所定値以下に制限する相対移動制限手段と、ヒートコンダクタ挿通口が対向配置された前記冷熱源側熱シールド空間R1,R1′および試料側熱シールド空間R2,R2′に配置され、試料側ヒートコンダクタ26,26′および冷熱源側ヒートコンダクタ36,36′間の熱伝導を行うフレキシブルヒートコンダクタ38,38′と、試料ホルダHの挿入方向の後面に設けられ、前記ホルダ挿入口22aから挿入された試料ホルダHが挿入方向に沿う軸回りに回転されたときに試料ホルダHを挿入方向前方に押圧する力を発生する押圧力発生係合面とを有する試料冷却装置。

Claim (excerpt)：

下記の要件を備えたことを特徴とする試料冷却装置、(Y01)試料ホルダが装着される試料ステージに一端部が連結された試料側ヒートコンダクタ、(Y02)前記試料側ヒートコンダクタの他端部に基端部が連結されて先端部にヒートコンダクタ挿通口の有る試料側熱シールド空間を形成する試料側熱シールド、(Y03)冷熱源に接続された冷熱源側ヒートコンダクタに基端部が接続されるとともに先端部にヒートコンダクタ挿通口の有る冷熱源側熱シールド空間を形成する冷熱源側熱シールド、(Y04)前記試料側熱シールドおよび冷熱源側熱シールドの各ヒートコンダクタ挿通口が対向配置された状態で、前記試料側熱シールドおよび冷熱源側熱シールドの相対的移動距離を所定値以下に制限する相対移動制限手段、(Y05)前記各ヒートコンダクタ挿通口が対向配置された前記冷熱源側熱シールド空間および試料側熱シールド空間に配置され、前記試料側ヒートコンダクタおよび冷熱源側ヒートコンダクタ間の熱伝導を行い且つ伝達される振動を減衰するフレキシブルヒートコンダクタ。