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J-GLOBAL ID：200903030527022713

光電変換装置の製造方法

Inventor： 釜下 敦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000215697
Publication number (International publication number)：2002033492
Application date： Jul. 17, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】パッケージに組み立てた後の良品検査で歩留まりが低下することを防止する光電変換装置の製造方法を提供する。【解決手段】収納容器に受光素子を取り付けて前記受光素子と収納容器とを電気的に接続する工程と、前記収納容器にガラスカバーを接着することなく仮封止して、仮留め品を形成する工程と、前記仮留め品を測定して良品と不良品とを判定する良品検査工程と、前記良品検査工程の後に仮封止を開封することなく前記検査工程で良品と判定された仮留め品の前記ガラスカバーを前記収納容器に接着する工程とを有する。

Claim (excerpt)：

収納容器に受光素子を取り付けて前記受光素子と収納容器とを電気的に接続する工程と、前記収納容器にガラスカバーを接着することなく仮封止して、仮留め品を形成する工程と、前記仮留め品を測定して良品と不良品とを判定する良品検査工程と、及び、前記良品検査工程の後に仮封止を開封することなく、前記検査工程で良品と判定された仮留め品の前記ガラスカバーを前記収納容器に接着する工程とを有することを特徴とする光電変換装置の製造方法。

IPC (2)：

H01L 31/02 ,  H01L 23/02

FI (3)：

H01L 23/02 Z ,  H01L 23/02 F ,  H01L 31/02 B

F-Term (6)：

5F088BA18 ,  5F088BA20 ,  5F088JA01 ,  5F088JA03 ,  5F088JA05 ,  5F088JA20