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J-GLOBAL ID：200903030619622768
フオトレジスト組成物及びエツチング方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992016232
Publication number (International publication number)：1993181281
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 基板との密着性が高く、ウェットエッチング法においても微細なパターンを再現することが可能なフオトレジスト組成物、及びそれを用いたエツチング方法を提供する。【構成】 ポジ型またはネガ型フオトレジスト組成物が、(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)に対して0.001〜10重量%の有機りん酸化合物を含有する事を特徴とし、それをウエツトエツチングの際のレジストとして使用する。
Claim (excerpt)：
(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)感光性化合物、及び(c)(a)に対して0.001〜10重量%の有機りん酸化合物を含有する事を特徴とするポジ型またはネガ型フオトレジスト組成物。
IPC (6)：
G03F 7/085
, G03F 7/004 503
, G03F 7/008
, G03F 7/038 505
, G03F 7/039 501
, H01L 21/027
Cited by examiner (7)
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