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J-GLOBAL ID：200903030621649185

露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法

Inventor： 西 健爾
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001027940
Publication number (International publication number)：2001308003
Application date： Feb. 05, 2001
Publication date： Nov. 02, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ステージ系等の組立調整を容易に、効率的に行えるようにする。【解決手段】 ウエハベース39上にウエハステージ40A,40Bを移動自在に設置してウエハステージ系WSTを構成し、ウエハステージ系WSTをウエハ室38内に収納し、その側面にウエハローダ系WRDA,WRDBが収納されたウエハローダ室70を設置する。位置A4からウエハローダ系WRDAでウエハW1を搬入する際に、搬送途中の位置A3において、撮像素子83A,84Aの検出結果に基づいて外形基準でウエハW1の位置合わせを行い、ウエハW1をウエハ室38内の位置A1に搬入したときに、再び外形基準でウエハステージ40Aに対するウエハW1の位置合わせ(プリアライメント)を行う。これによって、ウエハ室38をモジュール方式で組み立てた場合にも、ウエハステージ40Aにウエハを正確に受け渡すことができる。

Claim (excerpt)：

露光ビームで第1物体を介して第2物体を露光する露光方法において、所定の気密性を有するステージ室内に前記第1物体又は第2物体よりなる被露光体を移動する可動ステージを配置しておき、前記被露光体を前記ステージ室内に搬入した後、前記可動ステージに対する前記被露光体の位置合わせを行い、前記被露光体を前記可動ステージに設置した後、前記被露光体の露光位置に対する位置合わせを行うことを特徴とする露光方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (5)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 F

F-Term (5)：

5F046AA22 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC18 ,  5F046DA27