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J-GLOBAL ID：200903030632776022
走査プローブ顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 健二 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996100157
Publication number (International publication number)：1997288990
Application date： Apr. 22, 1996
Publication date： Nov. 04, 1997
Summary：
【要約】【目的】試料を破損することなく高分解能で像観察を行うようにしながら、しかも操作を簡単にする。【構成】圧電素子15がカンチレバー1および探針2を加振すると、検出器7での反射光の入射位置が周期的に変化するので、検出器7はカンチレバー1の振動および撓みによる高周波数成分および周波数変化成分との重畳信号を出力する。ノッチフィルタ30はコンパレータ9の出力信号の高周波数成分を選択して、誤差増幅器31を介して圧電素子駆動電源32に供給する。これにより、圧電素子駆動電源32は圧電素子21,22を駆動し、反射光の入射位置が常に検出器7の定位置となるようにミラー6を加振する。振幅検出器37はコンパレータ9の出力信号の周波数変化成分を選択して圧電素子駆動電源11に供給し、この電源11はz軸圧電走査素子4zを駆動して、探針-試料間の距離制御を行う。
Claim (excerpt)：
光源と、この光源から放出される光線の光軸中にその先端が配置されるとともに試料を走査する探針を有するカンチレバーと、このカンチレバーを加振する第1加振手段と、前記カンチレバーに前記光線が当たって反射する反射光線の光路中に配設されたミラーと、このミラーによって反射された反射光線が入射される検出器、前記前記検出器の出力信号に基づいて前記探針と前記試料間の距離制御を行う距離制御手段とを備えている走査プローブ顕微鏡において、前記ミラーを加振する第2加振手段と、前記検出器の出力信号から前記カンチレバーの加振周波数に関係する信号を分離検出する第1信号分離検出手段と、前記検出器の出力信号から前記カンチレバーの加振周波数に関係する該加振周波数の振幅変化成分の信号を分離検出して前記距離制御手段に供給する第2信号分離検出手段と、前記第1信号分離検出手段によって分離検出された信号に基づいて前記反射光線が前記検出器の定位置に常に入射されるように前記ミラーを振動させるための加振信号を前記第2加振手段に供給する加振信号発生手段とを備えていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
H01J 37/28
, G01B 21/30
, G01N 37/00
H01J 37/28 Z
, G01B 21/30 Z
, G01N 37/00 H
