Pat

J-GLOBAL ID：200903030638098069

ステージ装置

Inventor： 高嶋 常雄
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003140467
Publication number (International publication number)：2004342987
Application date： May. 19, 2003
Publication date： Dec. 02, 2004
Summary：

【課題】微動ステージの自重補償の調整を容易にする。自重補償手段に、磁気浮上方式を採用した場合、敏感度が高く微調整が困難、▲2▼3個の自重補償磁石の相互差調整が困難、▲3▼ユニット組立後の再調整が困難、▲4▼経年変化が生じた場合装置内で再調整する事が困難、といった問題点があった。【解決手段】微動ステージ可動部(微動天板)に、重量調整手段を設ける。粗調整として自重補償手段の調整を行い、その補正残差を、微動ステージ可動部の重量調整手段を微調整する。重量調整手段として、微動天板に設けたバランサーウェイトを用いる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

保持面を有する微動ステージと、前記微動ステージの自重および姿勢またはそのうちの一方を補償する浮上力を発生する自重補償手段と、前記微動ステージを鉛直方向に駆動するアクチュエータと、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を調整する重量調整手段とを有し、前記微動ステージの重量及び重心またはそのうちの一方を、前記自重補償手段の浮上力に一致させるよう前記重量調整手段を調整することを特徴とするステージ装置。

IPC (2)：

H01L21/68 ,  H01L21/027

FI (2)：

H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A

F-Term (13)：

5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031JA45 ,  5F031KA02 ,  5F031LA02 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC18