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J-GLOBAL ID：200903030638253544

SOGコーター及びSOG膜の成膜方法

Inventor： 増田 員拓
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996304826
Publication number (International publication number)：1998150028
Application date： Nov. 15, 1996
Publication date： Jun. 02, 1998
Summary：

【要約】【課題】 薄板状基板上の微細なパターンとSOG膜との間に気泡の残留や膜密度の濃淡が生じてしまい、薄板状基板上に均一で良好なSOG膜を形成することができないという問題点があった。【解決手段】 密閉槽6内に貯留され一定温度に保たれているSOG塗布液13内に薄板状基板3を浸漬し、密閉槽6内を加圧した後、SOG塗布液13に超音波振動を印加する。薄板状基板3をSOG塗布液13内から回転室18内の回転支持台19へ移載して回転させる。その後、薄板状基板3の裏面をエッチングおよび洗浄する。【効果】 既存のパターンを破壊することなく薄板状基板上にSOG膜を均一に平坦に形成できる。

Claim (excerpt)：

薄板状基板上にSOG膜を形成するSOGコーターにおいて、SOG塗布液を貯留し、前記薄板状基板を前記SOG塗布液内に浸漬するための槽と、前記SOG塗布液が付着している前記薄板状基板を回転させるための回転室と、を備えたことを特徴とするSOGコーター。

IPC (5)：

H01L 21/31 ,  B05C 3/04 ,  B05D 1/18 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/768

FI (5)：

H01L 21/31 A ,  B05C 3/04 ,  B05D 1/18 ,  H01L 21/316 H ,  H01L 21/90 Q

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-284875