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J-GLOBAL ID：200903030644826548

パターン欠陥検出方法および装置

Inventor：
クレイグ・ヒックス

About クレイグ・ヒックス


Applicant, Patent owner：
国際技術開発株式会社

About 国際技術開発株式会社


Agent (1)： 村上 友一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001002495
Publication number (International publication number)：2002207996
Application date： Jan. 10, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：
【要約】【課題】 検査パターンの向きによらずに欠陥を確実に検出できるようにする。【解決手段】 欠陥検出装置10は、ラインセンサ12が検査対象14を撮像し、2値化回路18がラインセンサ12の映像信号に基づいて2値画像データを作成する。輪郭抽出部22は、2値画像から検査対象14に形成されている検査パターンの検査輪郭線を求めてサンプルデータ記憶手段26のサンプル輪郭線記憶部28に書き込む。凹凸抽出部24は、検査輪郭線の凹凸部を抽出してサンプル凹凸記憶部に書き込む。比較判定部40の比較部42は、サンプル凹凸記憶部30に記憶させた検査凹凸部を読み出し、この検査凹凸部に対応したマスタ輪郭線をマスタデータ記憶手段32のマスタ輪郭線記憶部34から読み出し、両者を比較する。判定部44は、比較部42の比較結果に基づいて、検査凹凸部が欠陥であるか否かを判定する。
Claim (excerpt)：
検査パターンを有する検査対象の画像データから、前記検査パターンの検査輪郭線を求めたのち、前記検査輪郭線の検査凹凸部を抽出し、予め求めてあるマスタパターンのマスタ輪郭線の対応部と比較して前記検査パターンの欠陥を検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。
IPC (6)：
G06T 1/00 305 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  G06T 7/00 300 ,  G06T 7/60 150 ,  G06T 7/60 300
FI (7)：
G06T 1/00 305 A ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  G01N 21/956 B ,  G06T 7/00 300 E ,  G06T 7/60 150 U ,  G06T 7/60 300 A
F-Term (45)：
2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ39 ,  2G051AA51 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED04 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DC03 ,  5B057DC16 ,  5B057DC30 ,  5B057DC32 ,  5L096BA03 ,  5L096CA16 ,  5L096EA43 ,  5L096FA06 ,  5L096FA08 ,  5L096FA17 ,  5L096FA64 ,  5L096HA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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