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J-GLOBAL ID：200903030649864588

固体撮像装置

Inventor：
山本 洋夫

About 山本 洋夫

, 
水野 誠一郎

About 水野 誠一郎


Applicant, Patent owner：
浜松ホトニクス株式会社

About 浜松ホトニクス株式会社


Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996141756
Publication number (International publication number)：1997326479
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 テーパファイバを用いることなく、安価に製造することができ、画像に抜けや歪がなく、S/N比の良い画像が得られる放射線撮像装置を得る。【解決手段】 フォトダイオードとスイッチ素子とを1組とした受光要素をマトリックス状に配列して受光部23を形成し、かつ外周辺近傍に電極パッド部44を備えたフォトダイオードアレイチップ11を、マトリックス状に配置する。隣り合うフォトダイオードアレイチップ11間において板面を垂直にして配線板13a、13bを配設する。配線板13aの下部に、受光要素を順次選択して信号を出力する垂直シフトレジスタチップ14を設ける。配線板13bの下部に、選択された各受光要素からの信号を処理するチャージアンプアレイチップ15a、15bを設ける。
Claim (excerpt)：
フォトダイオードとこれに入力端子を接続したスイッチ素子とを1組とする受光要素を第1の数を列数とし第2の数を行数としてマトリックス状に配列して受光部を形成し、かつ外周辺近傍に受光要素の各行の前記第1の数の前記スイッチ素子のゲート端子に共通接続された前記第2の数のゲート用電極パッドと、前記第2の数の略半数の各列の前記スイッチ素子の出力端子に共通接続された前記第1の数の出力用電極パッドと、前記第2の出力用電極パッドに接続されない前記第2の数の略半数の前記スイッチ素子の出力端子に共通接続された前記第2の数の第2の出力用電極パッドとを配列して電極パッド部が形成された複数のフォトダイオードアレイチップを、同一平面上にマトリックス状に配置した受光ユニットと、前記フォトダイオードアレイチップの配列平面とは異なる平面上に配設され、前記受光要素を順次選択する信号を出力するための信号出力パッドを有する垂直シフトレジスタチップと、前記フォトダイオードアレイチップの配列平面とは異なる平面上に配設され、前記選択された前記第1の出力用電極パッドからの信号を入力するための信号入力パッドを有するとともに、この入力信号を処理する第1のチャージアンプアレイチップと、前記フォトダイオードアレイチップの配列平面とは異なる平面上に配設され、前記選択された前記第2の出力用電極パッドからの信号を入力するための信号入力パッドを有するとともに、この入力信号を処理する第2のチャージアンプアレイチップと、前記ゲート用電極パッドと前記信号出力パッドとを電気的に接続し、前記第1の出力用電極パッドと前記信号入力パッドとを電気的に接続し、前記第2の出力用電極パッドと前記信号入力パッドとを電気的に接続する接続手段と、を備えることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/30 ,  H01L 31/10
FI (4)：
H01L 27/14 K ,  H04N 5/30 ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/10 A
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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