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J-GLOBAL ID：200903030655118596

液体中の有機物濃度測定方法、気化試料生成方法及び装置

Inventor： 松本 英一 ,  今村 敏英
Applicant, Patent owner： 小松エレクトロニクス株式会社 ,  有限会社クリエイティブ産業
Agent (1)： 木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001115505
Publication number (International publication number)：2002310862
Application date： Apr. 13, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 小型で安価なシステム組込型構造で実現でき、システムから出る液体中の有機物濃度を正確に測定でき、クリーンルーム内でも使用可能にする。【解決手段】 レベル調整槽10は半導体製造プロセスからの廃水を試料水として取り込み、貯留水位が一定レベルとなるように調整する。送水ウィック20は、レベル調整槽10内の試料水を重力と枝編み構造による毛細管圧とにより一定量ずつ試料水蒸発用カートリッジヒータ320に送水する。このカートリッジヒータ320で加熱して得た蒸気に空気吸入口350より一定量の空気を吸入して混合気体とし、該混合気体を混合気体昇温用カートリッジヒータ330で所定温度範囲に加熱して気化試料を生成する。この気化試料中におけるIPA濃度センサ340のセンサ指示値に基づき上記液体中の有機物濃度を測定する。

Claim (excerpt)：

有機物を含有する液体を重力を利用して一定量ずつ流下送水するステップと、前記送水される液体を加熱して水蒸気化するステップと、前記水蒸気に一定量の酸素を混合して混合気体を生成するステップと、前記混合気体を所定の温度範囲に加熱するステップとを有し、気体中の有機物濃度を検出する気体用濃度センサを前記加熱混合気体中に設置し、該センサ指示値に基づき前記液体中の有機物濃度を測定することを特徴とする液体中の有機物濃度測定方法。

IPC (5)：

G01N 1/10 ,  G01N 1/28 ,  G01N 27/12 ,  G01N 33/00 ,  G03F 7/42

FI (5)：

G01N 1/10 E ,  G01N 27/12 A ,  G01N 33/00 D ,  G03F 7/42 ,  G01N 1/28 K

F-Term (26)：

2G046AA34 ,  2G046BA09 ,  2G046BE04 ,  2G046BG01 ,  2G046EA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE39 ,  2G052AA06 ,  2G052AC28 ,  2G052AD06 ,  2G052AD26 ,  2G052AD42 ,  2G052CA03 ,  2G052CA11 ,  2G052DA01 ,  2G052EB01 ,  2G052EB11 ,  2G052FB03 ,  2G052HC22 ,  2G052HC25 ,  2G052JA09 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096GA17 ,  2H096LA25 ,  2H096LA30