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J-GLOBAL ID：200903030665903631

イオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法

Inventor： 木野村 淳 ,  堀野 裕治 ,  杢野 由明 ,  茶谷原 昭義 ,  坪内 信輝 ,  藤井 兼栄
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 工業技術院大阪工業技術研究所長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995212391
Publication number (International publication number)：1997043158
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】イオンビーム真空外取り出し中において、取り出し窓の損傷を正確かつ容易に検出できる方法を提供することを主な目的とする。【解決手段】真空中で発生させたイオンビームを真空外取り出し窓を通過させて真空外に取り出すにあたり、該取り出し窓から散乱した粒子のエネルギーを測定してエネルギー分布を求め、該エネルギー分布から該イオンビーム真空外取り出し窓の膜厚及び/又は組成を求めることを特徴とするイオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法。

Claim (excerpt)：

真空中で発生させたイオンビームを真空外取り出し窓を通過させて真空外に取り出すにあたり、該取り出し窓から散乱した粒子のエネルギーを測定してエネルギー分布を求め、該エネルギー分布から該イオンビーム真空外取り出し窓の膜厚及び/又は組成を求めることを特徴とするイオンビーム真空外取り出し窓の損傷検出方法。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 15/02 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/26

FI (4)：

G01N 21/88 D ,  G01B 15/02 Z ,  G21K 5/00 W ,  H01J 37/26