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J-GLOBAL ID：200903030712834236

顕微鏡の焦点検出方法および自動焦点検出装置

Inventor： 永沢 伸之
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993279649
Publication number (International publication number)：1995134241
Application date： Nov. 09, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】構造を複雑化すること無く、低倍率から高倍率まで安定した焦点調節を実現する。【構成】この顕微鏡の焦点検出方法は、対物光学系3の予定焦点面前後に形成される2画像を受光素子9へ投影し、対物光学系3が低倍率ならば2画像の電気信号の差分値に基づき合焦位置を検出し、高倍率ならば対物レンズ3と試料2との相対距離を変化させて一方の合焦度評価値が最大値を示す位置を検出し、その検出位置において2画像の電気信号の差分値がしきい値よりも小さければ2つの合焦度評価値の和又は平均が最大となる位置を検出し、合焦度評価値が最大値となる位置において2画像の電気信号の差分値が前記しきい値よりも大きければ2画像の電気信号の差分値に基づき合焦位置を検出するようにした。

Claim (excerpt)：

顕微鏡の対物光学系によって形成された光像を少なくとも一つの受光素子によって電気信号に変換し、その受光素子から出力される電気信号を使って合焦評価演算を行い、その演算で求められる合焦度評価値に基づいて合焦位置を検出する顕微鏡の焦点検出方法において、前記対物光学系の予定焦点面前方の所定位置に形成される光像と予定焦点面後方の所定位置に形成される光像との2画像を前記受光素子へ投影し、前記受光素子から出力される2画像の電気信号から両画像の合焦度評価値を求め、前記対物レンズが高倍率ならば、前記対物レンズと試料との光軸方向の相対距離を変化させて前記2画像のうちの一方の合焦度評価値が最大値を示す位置を検出し、前記合焦度評価値が最大値となる位置において前記2画像の合焦度評価値の差がしきい値よりも小さければ、前記2画像の合焦度評価値の和又は平均値が最大となる位置を合焦位置として検出し、前記合焦度評価値が最大値となる位置において前記2画像の合焦度評価値の差が前記しきい値よりも大きければ、前記2画像の合焦度評価値の差に基づき合焦位置を検出することを特徴とする焦点検出方法。

IPC (4)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/04 ,  G02B 7/38 ,  G02B 21/00

FI (3)：

G02B 7/11 J ,  G02B 7/04 C ,  G02B 7/11 E