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J-GLOBAL ID：200903030734013570
露光量制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993088330
Publication number (International publication number)：1994302491
Application date： Apr. 15, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 パルス光を用いた露光装置用の露光量制御装置において、機械的な駆動を行うことなく高速且つ連続的にパルス光の透過率を変更する。【構成】 パルスレーザー光源7からのレーザービームLB0がビーム整形光学系8、音響光学変調器10、フライアイレンズ17及びコンデンサーレンズ21等を経てレチクルR上を照明し、レチクルRのパターン像が投影光学系PLを介してウエハW上に投影される。音響光学変調器10では、超音波セル11から発生する回折光の内の0次回折光を絞り14で取り出し、超音波セル11内の超音波のパワーを制御することにより、その0次回折光の強度を調整する。
Claim (excerpt)：
発振の度に所定の範囲内での光量変動を伴うパルス光を射出するパルス光源と、前記パルス光で転写用のパターンが形成された第1物体を照明する照明光学系とを有し、前記パルス光のもとで前記第1物体のパターンを感光性の第2物体上に転写する露光装置に備えられ、前記第2物体への積算露光量を所定の目標制御精度の範囲内で目標露光量に設定する装置において、前記照明光学系中に配設され、進行波の音響光学効果により前記パルス光の0次回折光及び高次回折光を発生する音響光学変調手段と、前記パルス光の前記音響光学変調手段による0次回折光を前記第1物体側に通過させる絞り手段と、前記第2物体へ照射される前記パルス光の露光量を検出する露光量モニター手段と、前記第2物体への露光中に、前記露光量モニター手段により検出された露光量を積算して得られたそれまでの積算露光量に基づいて、前記音響光学変調手段内の進行波の強度を制御して前記パルス光の0次回折光の強度を制御することにより、前記第2物体への最終的な積算露光量を前記目標露光量に近づける演算制御手段と、を有することを特徴とする露光量制御装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/30 301 G
, H01L 21/30 311 L
