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J-GLOBAL ID：200903030736631719
酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991262559
Publication number (International publication number)：1993070210
Application date： Sep. 17, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】【構成】 酸化インジウム・酸化スズ成型体を1200°Cに達するまでは、酸素濃度21容量%以下の雰囲気で加熱した後、続いて1200〜1700°C、酸素濃度21容量%をこえる雰囲気で焼結することを特徴とする酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法。【効果】 焼結密度90%以上の高密度ITO焼結体を得られる。
Claim (excerpt)：
酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を成型した後、1200°Cに達するまで酸素濃度21容量%以下の雰囲気で加熱した後、1200〜1700°Cまで酸素濃度21容量%を越える雰囲気中で焼結することを特徴とする酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法。
IPC (5)：
C04B 35/00
, C01G 15/00
, C01G 19/02
, C04B 35/64
, C23C 14/34
