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J-GLOBAL ID：200903030747930190
洗浄方法および洗浄装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997156910
Publication number (International publication number)：1999008214
Application date： Jun. 13, 1997
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：
【要約】【課題】 洗浄工程における被洗浄物表面のパーティクル除去効果の向上を図る。【解決手段】 純水中にガスを溶存させたものを洗浄水として用い、前記洗浄水にメガソニック照射を行いながら、前記洗浄水中に被洗浄物を浸漬させることで、被洗浄物表面の洗浄を行う。前記純水中に溶存させた前記ガスの溶存濃度を、少なくとも洗浄水に前記メガソニック照射を行った際に、水面にさざ波を発生させない濃度とする。
Claim (excerpt)：
純水にガスを溶存させたものを洗浄水として用い、前記洗浄水中に被洗浄物を浸漬させるとともに、前記洗浄水にメガソニック照射を行うことを特徴とする洗浄方法。
IPC (5)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/08
, B08B 3/10
, B08B 3/12
H01L 21/304 341 T
, H01L 21/304 341 N
, B08B 3/08 Z
, B08B 3/10 Z
, B08B 3/12 A
