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J-GLOBAL ID：200903030751716488

局所電荷分布測定方法

Inventor： 安江 孝夫
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992005348
Publication number (International publication number)：1993188103
Application date： Jan. 16, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 絶縁性試料の局所電荷分布測定を行う。【構成】 原子間力顕微鏡のカンチレバー1の一部分に導電性処理部1Dを施すことにより、被測定試料4とカンチレバー1との間に働く原子間力を一定に保ったまま、上記導電性部分1Dを介して流れるトンネル電流を電流計10でモニタリングするように構成した。これにより、絶縁性試料表面の局所電荷分布測定を行うことが可能となる。

Claim (excerpt)：

原子間力顕微鏡のカンチレバーの一部分に導電性処理を施すことにより、被測定試料とカンチレバーとの間に働く原子間力を一定に保ったまま、上記導電性部分を介して流れるトンネル電流をモニタリングすることによって、絶縁性試料の局所電荷分布測定を行うことを特徴とする局所電荷分布測定方法。