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J-GLOBAL ID：200903030769750284

電子ビーム装置

Inventor： 本荘 一郎
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992251233
Publication number (International publication number)：1993251315
Application date： Sep. 21, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は電子ビーム装置に関し、複数の電子ビームの特性をそれぞれ調節し、各電子ビームの特性を精度よく揃える電子ビーム装置の提供を目的とする。【構成】 同一基板または同一平面に、一次元あるいは二次元に配列した個別の基板に複数の電子エミッタを形成し、該複数の電子エミッタ毎に、電極電圧に応じたビーム電流をもつ荷電粒子ビームを該電子エミッタから引き出す引出電極と、電極電圧に応じた収束率を荷電粒子ビームに与える収束電極と、電極電圧に応じた偏向角を荷電粒子ビームに与える偏向電極と、荷電粒子ビーム軸と該収束電極の中心軸とのズレを補正し、荷電粒子ビームのビーム形状を成形するビーム形状成形電極と、収束・偏向後の荷電粒子ビームにさらされる試料表面からの二次電子または反射電子、あるいは試料を透過した透過電子を検出する検出器とを設け、該引出電極、該収束電極、該偏向電極、該ビーム形状成形電極に与える電極電圧を調節する調節手段を備えるように構成する。

Claim (excerpt)：

共通基板(20)または同一平面に配列した個別の基板に複数の電子エミッタ(21)を形成し、該電子エミッタ(21)毎に、電極電圧に応じたビーム電流をもつ荷電粒子ビーム(22)を該電子エミッタ(21)から引き出す引出電極(23)、電極電圧または励磁電流に応じた収束率を荷電粒子ビーム(22)に与える収束用電極(24)または収束用コイル、電極電圧または励磁電流に応じた偏向角を荷電粒子ビーム(22)に与える偏向用電極(25)または偏向用コイル、収束かつ偏向後の荷電粒子ビーム(22)にさらされる試料(26)表面からの二次電子(27)または反射電子もしくは試料(26)を透過した透過電子(28)を荷電粒子ビーム(22)毎に検出する検出器(29)の全てもしくはその一部を設けるとともに、前記引出電極(23)、収束用電極(24)または収束用コイル及び偏向用電極(25)または偏向用コイルに与えるそれぞれの電極電圧または励磁電流の全部もしくはその一部を調節する調節手段(30)を備えることを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/06 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/66

FI (3)：

H01L 21/30 341 B ,  G01R 31/28 L ,  H01L 21/30 341 W