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J-GLOBAL ID：200903030773890201
ターゲットおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993315084
Publication number (International publication number)：1994234565
Application date： Dec. 15, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ITO膜よりも耐湿性に優れるとともにITO膜と同等の導電性および光透過率を有する透明導電膜を得るためのターゲットを提供する。【構成】 InとZnを主成分とし、一般式In2 O3 (ZnO)m (m=2〜20)で表される六方晶層状化合物を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とするターゲット。
Claim (excerpt)：
InとZnを主成分とし、一般式In2 O3 (ZnO)m (m=2〜20)で表される六方晶層状化合物を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とするターゲット。
IPC (3)：
C04B 35/00
, C01G 15/00
, H01B 13/00 503
