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J-GLOBAL ID：200903030777814097

感光性樹脂前駆体組成物

Inventor： 富川 真佐夫 ,  奥田 良治 ,  岡本 尚代
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998289567
Publication number (International publication number)：2000119519
Application date： Oct. 12, 1998
Publication date： Apr. 25, 2000
Summary：

【要約】【課題】アルカリ水溶液で短時間で現像可能で、感光性ワニスの粘度安定性の良好な感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジドスルホン酸エステル化合物より構成されることを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】(一般式(1)および一般式(2)のR0、R3は炭素数3から30の1価の有機基、またはケイ素原子含有有機基を示し、R1(OH)pは下記一般式(3)、(4)、(5)で表される少なくとも1種から選ばれた基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基を示す。nは1から100までの整数である。p、qは0から4までの整数であり、p、qが同時に0になることはない)

Claim (excerpt)：

(a)下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジドスルホン酸エステル化合物より構成されることを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】(一般式(1)および一般式(2)のR0、R3は炭素数3から30の1価の有機基、またはケイ素原子含有有機基を示し、R1(OH)pは下記一般式(3)、(4)、(5)で表される少なくとも1種から選ばれた基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基を示す。nは1から100までの整数である。p、qは0から4までの整数であり、p、qが同時に0になることはない)【化3】(一般式(3)のR4 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価から8価の有機基を示す。rは0から4までの整数である。)【化4】(一般式(4)のR5は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R6は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。sは0から4までの整数であり、tは0から1までの整数である。)【化5】(一般式(5)のR7は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3から8価の有機基、R8は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。uは0から4までの整数であり、vは0から2までの整数である。)

IPC (7)：

C08L 79/08 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (7)：

C08L 79/08 A ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (13)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-060630
  
• 特開平3-259148
  
• 特開平3-209478
  
• 特開平3-058048