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J-GLOBAL ID:200903030794860515

薄膜密着強度評価方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 萼 経夫 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995141134
Publication number (International publication number):1996313428
Application date: May. 16, 1995
Publication date: Nov. 29, 1996
Summary:
【要約】【目的】 薄膜密着強度の評価方法を提供する。【構成】 密着強度を評価すべき薄膜(メッキ層10)が表面上に形成された製品(ワーク9)の裏面と、球面状突起を表面に備えた治具(突き上げピン14,15)の表面とを圧着させることにより、製品を裏面側より治具の球面状突起で突き上げて、製品表面を球面状に突出させ、治具の球面状突起部分の突出し量と薄膜の剥離度合との関係を求め、前記関係から薄膜の製品表面に対する密着強度を評価する。【効果】 製品をそのまま使用して薄膜の密着強度を簡便迅速に評価することができ、特に工程管理に有用である。
Claim (excerpt):
密着強度を評価すべき薄膜が表面上に形成された製品の裏面と、球面状突起を表面に備えた治具の表面とを圧着させることにより、製品を裏面側より治具の球面状突起で突き上げて、製品表面を球面状に突出させ、治具の球面状突起部分の突出し量と薄膜の剥離度合との関係を求め、前記関係から薄膜の製品表面に対する密着強度を評価することを特徴とする薄膜密着強度評価方法。
IPC (2):
G01N 19/04 ,  G01N 33/20
FI (2):
G01N 19/04 B ,  G01N 33/20 Q

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