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J-GLOBAL ID：200903030803306305
定点検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994064224
Publication number (International publication number)：1995270723
Application date： Mar. 31, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：
【要約】【目的】 正確な定点を得ることができる定点検出装置を提供することを目的とする。【構成】 互いに異なる方向の格子ベクトルを有する第1及び第2のホログラフィック回折格子32、33によって互いに異なる方向に出射される回折光が得られる。第1のホログラフィック回折格子32によって生成される正負の1次回折光を第1の対の受光器22A、22Bによって検出し、その出力信号を加算して和を求める。第2のホログラフィック回折格子33によって生成される正負の1次回折光を第2の対の受光器23A、23Bによって検出し、その出力信号を加算して和を求める。両者の和が等しくなる点が定点である。
Claim (excerpt)：
隣接して配置された第1及び第2の回折格子と該2つの回折格子に光を出力する光源と上記第1の回折格子によって生成された正負の1次回折光をそれぞれ検出する第1の対の受光器と上記第2の回折格子によって生成された正負の1次回折光をそれぞれ検出する第2の対の受光器とを有し、上記2つの回折格子の格子ベクトルは互いに異なる方向を向いており、上記第1の回折格子によって生成される正負の1次回折光を含む面は上記第2の回折格子によって生成される正負の1次回折光を含む面と平行とならないように構成され、上記2つの回折格子による正負の同次回折の回折角の絶対値は等しく且つ測定軸に沿って変化しないように構成され、上記2つ回折格子を上記光源及び受光器に対して相対的に測定方向に沿って移動させるとき、上記第1の対の受光器の出力信号の和と上記第2の対の受光器の出力信号の和が等しくなる点を求めることによって定点を得るように構成されている定点検出装置。
IPC (3)：
G02B 27/44
, G03B 27/53
, H01S 3/00
