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J-GLOBAL ID：200903030826365805

配線パターン検査装置

Inventor： 丸山 祐二 ,  川村 秀昭 ,  山本 淳晴 ,  川上 秀彦
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992014599
Publication number (International publication number)：1993209843
Application date： Jan. 30, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プリント基板やホトマスク等における配線パターンの不良を検査する配線パターン検査装置に関するもので、欠陥の発生頻度を抑制するとともに最終的に目視による確認作業の効率化を図ることを目的とする。【構成】 プリント基板101上に形成された配線パターンの線幅を計測し、欠陥検出手段106により1つ以上の任意の閾値と比較し線幅異常を画素単位で検出し、検出された連結した線幅異常画素を統合処理手段107で孤立点画素になるまで縮退する統合処理を施すことにより、連結した線幅異常画素を1つにハードウエアでまとめる。

Claim (excerpt)：

プリント基板上に形成された配線パターンを光電変換する画像入力手段と、前記画像入力手段からの濃淡画像を2値画像に変換する2値化手段と、配線パターンの線幅を計測し1つ以上の任意の閾値と比較し線幅異常を検出する欠陥抽出手段と、前記欠陥抽出手段から検出された連結した線幅異常画素を孤立点画素になるまで縮退する統合処理手段とを具備した配線パターン検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 405 ,  H05K 13/08