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J-GLOBAL ID：200903030831364728

荷電粒子線露光装置

Inventor： 青砥 和明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999167606
Publication number (International publication number)：2000357646
Application date： Jun. 15, 1999
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】荷電粒子線露光装置で真空チャンバは、その内部空間を略真空に保つため鋼などの金属で構成されているが、通常金属は可視光を透過しないので、チャンバ内部を外部から観察できない。特にステージを調整するためには、ステージの動作状態を目視で観察する必要があるが、そのため開閉機構を開くと、再び内部空間を真空にするのに長時間を要する。従って開閉機構を開かずに内部空間を観察でき、調整時間を短縮できる該露光装置を提供する。【解決手段】内部空間を略真空に保つ真空チャンバと、内部空間に設けられた試料保持用ステージ手段と、内部空間に設けられ、内部空間の赤外線を赤外線画像データに変換する赤外線撮像手段と、赤外線画像データを表示するモニタ手段とを有する荷電粒子線露光装置である。

Claim (excerpt)：

内部の空間を略真空に保つ真空チャンバ手段と、前記内部の空間に設けられ、試料を保持するステージ手段と、前記内部の空間に設けられ、前記内部の空間の赤外線を赤外線画像データに変換する赤外線撮像手段と、前記赤外線撮像手段が出力する前記赤外線画像データを表示するモニタ手段と、を有する事を特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G03B 41/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (6)：

H01L 21/30 541 U ,  G03B 41/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 551

F-Term (14)：

2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C033PP02 ,  5C033RR03 ,  5C033UU03 ,  5C034BB06 ,  5C034BB07 ,  5F056BA10 ,  5F056BB10 ,  5F056BC08 ,  5F056CB22 ,  5F056EA14 ,  5F056EA16