ガスバリアフィルムの製造方法及び製造装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高島一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993118721
Publication number (International publication number)：1994330318
Application date： May. 20, 1993
Publication date： Nov. 29, 1994
Summary：

【要約】【構成】無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性X線の内、少なくとも一つの元素の特性X線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。また、その製造装置。【効果】本発明のガスバリアフィルムの製造方法又は製造装置によれば、無色透明の薄膜及び複合酸化物薄膜等を用いたガスバリアフィルムに対しても膜厚がモニターでき、そのため長さ方向に均一な特性を有するガスバリアフィルムを作製することができる。

Claim (excerpt)：

無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性X線の内、少なくとも一つの元素の特性X線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/54 , C23C 16/54

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

特開平4-354872
特開平4-354872
特開平4-354872

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