レーザ装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大森聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999258124
Publication number (International publication number)：2001083557
Application date： Sep. 10, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】露光装置の光源に使用できると共に、装置を小型化でき、かつメンテナンスの容易なレーザ装置を提供する。更に、使用する光学素子の非線形効果に起因した波長幅の広がりを抑制する。【解決手段】入射する波長1.5μm程度のレーザ光LB3を第1段の光ファイバー増幅器22で増幅した後、更に第2段の光ファイバー増幅器25で増幅し、増幅後のレーザ光を周波数変換によって紫外光に変換する。光ファイバー増幅器22及び25の間に狭帯域フィルタ24A及びアイソレータIS3を配置してAmplified Spontanious Emission(ASE)ノイズ等を低減させる。

Claim (excerpt)：

単一波長の紫外光を発生するレーザ装置であって、赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生するレーザ光発生部と、該レーザ光発生部から発生されたレーザ光を順次増幅する複数段の光ファイバー増幅器と、該複数段の光ファイバー増幅器の間に配置された狭帯域フィルタ及びアイソレータとを有する光増幅部と、該光増幅部によって増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部とを備えたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (4)：

G02F 1/37 , G03F 7/20 505 , H01L 21/027 , H01S 3/10

FI (4)：

G02F 1/37 , G03F 7/20 505 , H01S 3/10 Z , H01L 21/30 515 B

F-Term (20)：

2H097BB02 , 2H097CA13 , 2H097CA17 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 2H097LA12 , 2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002CA02 , 2K002HA20 , 5F046AA07 , 5F046BA04 , 5F046CA03 , 5F046CA08 , 5F046DA30 , 5F072AB09 , 5F072AK06 , 5F072QQ02 , 5F072RR05 , 5F072YY09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-235924
特開平3-296025
多段光ファイバ増幅器装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-004285 Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド

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