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J-GLOBAL ID:200903030863957240
半導体装置の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996314712
Publication number (International publication number):1998154670
Application date: Nov. 26, 1996
Publication date: Jun. 09, 1998
Summary:
【要約】【課題】 半導体ウェーハにダイシングを行うと、ダイシングライン上のメタルパターンの端部が捲れ上がって、インナリードやボンディングワイヤと接触し、電気的不具合を起こしていた。【解決手段】 半導体ウェーハ11上にメタルパターン12、13を形成し、表面全体に表面保護膜14を堆積し、メタルパターン12、13のうち少なくともダイシングライン上のもの12の表面が露出するように表面保護膜14をパターニングし、表面全体にバリアメタル15を堆積し、バリアメタル15のうちダイシングライン上のものと、メタルパターン12、13のうちダイシングライン上のもの12とを同時にエッチングにより除去し、メタルパターン12が除去されたダイシングラインに沿って、半導体ウェーハ11にダイシングを行うことで、ダイシングにより捲れ上がったメタルパターンの端部がインナリードやボンディングワイヤと接触して不良を起こすことを防止する。
Claim (excerpt):
半導体ウェーハの表面上にメタルパターンを形成する工程と、前記メタルパターンのうち、ダイシングライン上に位置するものを、ダイシングを行う前に除去する工程と、を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
IPC (2):
H01L 21/301
, H01L 21/3205
FI (2):
H01L 21/78 L
, H01L 21/88 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開平2-054563
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半導体チップの構造及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-167906
Applicant:沖電気工業株式会社
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半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-092900
Applicant:カシオ計算機株式会社
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半導体基板ダイシング法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-328553
Applicant:株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
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半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-266193
Applicant:ローム株式会社
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半導体ウエハ及び半導体ウエハの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-312834
Applicant:沖電気工業株式会社
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半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-180837
Applicant:松下電器産業株式会社
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