Pat
J-GLOBAL ID：200903030891434849
熱式流体センサ、流体判別装置及びその方法、フローセンサ、並びに、流量計測装置及びその方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000094437
Publication number (International publication number)：2001012988
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 計測対象流体の種類や組成が変化すると出力特性に変化を生じるフローセンサによっても、計測対象流体の流量を精度良く計測できるようにする。【解決手段】 マイクロヒータ4が外部からの駆動電流により流体を加熱すると、マイクロヒータ4の加熱と並行して、上流側サーモパイル8は、マイクロヒータ4による加熱される前の流体の温度を検出し、第1の温度検出信号を出力し、下流側サーモパイル5は、マイクロヒータ4による加熱される前の流体の温度を検出し、第2の温度検出信号を出力し、これら両信号の差信号に基づき流量を算出するが、それに当たり、マイクロヒータ4に対して流体の流れ方向と略直交方向に配置された右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13により流体の温度を検出し右側温度検出信号及び左側温度検出信号を出力させ、これに基づき算出される流体の物性値に基づき、算出された流量を補正できるようにする。
Claim (excerpt)：
外部からの駆動電流により流路を流れる計測対象流体を加熱するヒータと、このヒータに対して前記計測対象流体の流れ方向と略直交方向に配置され、前記計測対象流体の温度を検出し、温度検出信号を出力する横側温度センサと、前記ヒータ及び前記横側温度センサを支持する支持基板と、を備えることを特徴とする熱式流体センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (25)：
2F035EA05
, 2F035EA08
, 2G040AA02
, 2G040AB05
, 2G040AB08
, 2G040BA23
, 2G040CA02
, 2G040CA14
, 2G040CA22
, 2G040CB02
, 2G040DA02
, 2G040DA03
, 2G040DA12
, 2G040DA15
, 2G040DA21
, 2G040EA02
, 2G040EA11
, 2G040EA13
, 2G040EB02
, 2G040GA05
, 2G040GA07
, 2G040HA08
, 2G040HA16
, 2G040HA18
, 2G040ZA05
Cited by examiner (3)
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感熱式流量計
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-010922
Applicant：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
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熱式流量計
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-298137
Applicant：トキコ株式会社
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集積型マイクロセンサ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-245899
Applicant：株式会社日立製作所
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