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J-GLOBAL ID：200903030898089802

露光装置および照明装置

Inventor： 小澤 謙
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005081004
Publication number (International publication number)：2006269462
Application date： Mar. 22, 2005
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：

【課題】マスクを照明する照明光に任意の偏光分布を持たせる照明システムを有する露光装置を提案する。【解決手段】本発明は、光源から出射される光の強度を均一化するためマトリクス状にフライアイレンズが配置されたフライアイレンズアレイ104と、フライアイレンズアレイ104の各レンズエレメントに対応して配置され、光源から出射される光の進行方向と並行な光学軸を有し、通過する光の振動面を回転させる複数の旋光素子から成る旋光素子アレイ102とを備える露光装置である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光源から出射される光の強度を均一化するためマトリクス状にフライアイレンズが配置されたフライアイレンズアレイと、 前記フライアイレンズアレイの各レンズエレメントに対応して配置され、前記光源から出射される光の進行方向と並行な光学軸を有し、通過する光の振動面を回転させる複数の旋光素子から成る旋光素子アレイと、 前記フライアイレンズアレイおよび前記旋光素子アレイを介して、マスク面への入射角度に対して振動面が所望の方向に回転された光をマスクに照射するコンデンサーレンズと を備えることを特徴とする露光装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/30 ,  G03F 7/20

FI (4)：

H01L21/30 515D ,  G02B3/00 A ,  G02B5/30 ,  G03F7/20 521

F-Term (9)：

2H049BA08 ,  2H049BB01 ,  2H049BB62 ,  2H049BC22 ,  5F046BA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB15 ,  5F046DA01