Pat
J-GLOBAL ID：200903030904883192
陽極酸化装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992323837
Publication number (International publication number)：1994146081
Application date： Nov. 10, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：
【要約】【目的】電解液槽を簡素な小型槽とし、装置の設備費を低減して基板1枚当りの導電膜の酸化処理コストを下げる。【構成】導電膜を形成した基板1を1枚ずつ電解液槽21の電解液22中に浸漬して前記導電膜の陽極酸化を行なう。
Claim (excerpt)：
基板上に形成した導電膜を電解液中において陽極酸化する装置であって、電解液槽と、導電膜を形成した基板を1枚ずつ前記電解液槽に搬入搬出する基板搬送系とからなることを特徴とする陽極酸化装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
