集積回路の故障検証方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：池内寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997181438
Publication number (International publication number)：1999025147
Application date： Jul. 07, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】チップ内におけるマスクパターン密度の分布に着目し、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出することにより、高精度かつ高効率の検査を可能ならしめ、初期不良の低減に寄与する。【解決手段】検査対象の集積回路のマスクパターンを作成した際のフロアプラン又はレイアウト情報から物理的なパラメーターを抽出し、得られたパラメータと故障シミュレータ又は自動テストパターン生成装置から得られる故障検出率とに基づいて、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出する。

Claim (excerpt)：

検査対象の集積回路のマスクパターンを作成した際のフロアプラン又はレイアウト情報から物理的なパラメーターを抽出し、得られたパラメータと故障シミュレータ又は自動テストパターン生成装置から得られる故障検出率とに基づいて、物理的な故障発生率に応じた新たな故障検出率を算出する集積回路の故障検証方法。

IPC (3)：

G06F 17/50 , G01R 31/28 , H01L 21/82

FI (4)：

G06F 15/60 666 A , G01R 31/28 F , G06F 15/60 672 D , H01L 21/82 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

テストパターンの故障検出率算出方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-242362 Applicant：株式会社リコー
特開平1-235872

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