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J-GLOBAL ID：200903030922788890

タイル様周期化金属膜センサ

Inventor： ティルマラ・アール・ランガナス ,  ミハイル・エム・シガラス
Applicant, Patent owner： アジレント・テクノロジーズ・インク
Agent (1)： 加藤 公久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007012772
Publication number (International publication number)：2007206063
Application date： Jan. 23, 2007
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：

【課題】周囲温度の変化等の外部環境の影響を補償できるように構成されたタイル様周期化金属膜センサを提供する。 【解決手段】タイル様周期化金属膜センサセル(335、435)は、碁盤目状に互いに交互に配置される第1の組(310、410)及び第2の組(320、420)のタイルを備える。第1の組のタイル(310、410)及び第2の組のタイル(320、420)は、誘電基板(399)上に堆積される第1及び第2の金属膜から構成される。第1の金属膜は、第1の周期(325)でパターン形成され、第2の金属膜は、第1の周期と異なる第2の周期(355)でパターン形成される。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

タイル様周期化金属膜センサセルであって、 碁盤目状に互いに交互に配置される第1の組及び第2の組のタイルを備え、前記第1の組のタイルは、誘電基板上に堆積される第1の金属膜から構成され、前記第2の組のタイルは、前記誘電基板上に堆積される第2の金属膜から構成され、前記第1の金属膜は、第1の周期パターンでパターン形成され、前記第2の金属膜は、第2の周期パターンでパターン形成され、前記第1の周期パターン及び前記第2の周期パターンは異なるように構成されることを特徴とする、タイル様周期化金属膜センサセル。

IPC (2)：

G01N 21/41 ,  G01N 21/27

FI (2)：

G01N21/41 Z ,  G01N21/27 B

F-Term (15)：

2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG05 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22