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J-GLOBAL ID：200903030957405780

「増幅型」光電変換装置及びその駆動方法

Inventor： 磯貝 忠男
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993301666
Publication number (International publication number)：1995153988
Application date： Dec. 01, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】インパクトイオン化現象を有効利用した、全く新規な光電変換装置を提供する。即ち、光電変換部で生じ蓄積された電荷の量に応じて電子を増幅する「増幅型」光電変換装置において、増幅された電子に応じてインパクトイオン化現象を生じさせ、大きな出力を得る「増幅型」光電変換装置及びその駆動方法を提供する。【構成】ウェル中にソース、ドレインを配置し、その間にゲートとチャネルを装備する。装置の動作は、少なくとも、電荷を蓄積する動作、インパクトイオン化現象を生じさせる動作、読み出し動作、からなる。

Claim (excerpt)：

第1導電型の半導体基板、前記半導体基板表面に配置された第2導電型領域からなるウェル、前記ウェル中に配置された第1導電型領域からなるソース及びドレイン、前記ソースと前記ドレインの間に配置された第2導電型のゲート、前記ゲート下に配置された第1導電型領域からなるチャネル、並びに前記ゲートの上に形成された絶縁膜を介して配置されたゲート電極からなる「増幅型」光電変換装置において、前記半導体基板と前記ウェルにより生じたPN接合からなる光電変換部に入射する光を光電変換し生ずる電荷を蓄積する第1動作、前記ソースと前記ドレインの間に電流を流し、且つ、その電圧差を高レベルにすることによりインパクトイオン化現象を発生させ生じた電荷を蓄積する第2動作、前記ソースと前記ドレインの間に電流を流し、且つ、前記電圧差を低レベルにすることにより光電変換及びインパクトイオン化現象で生じた前記電荷の総量に応じて2次的な電荷を生ずる第3動作、これらの3動作を行う駆動手段を設けたことを特徴とする「増幅型」光電変換装置。

IPC (2)：

H01L 31/107 ,  H01L 31/10

FI (2)：

H01L 31/10 B ,  H01L 31/10 E