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J-GLOBAL ID:200903030961538612

走査型顕微鏡用プローブ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三品 岩男 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991323161
Publication number (International publication number):1993157508
Application date: Dec. 06, 1991
Publication date: Jun. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】長時間観察を中断させることなく、異なるプローブで素速く測定を再開することのできる、測定の効率のよいプローブを提供する。【構成】1軸を中心に回転可能な本体と、前記本体の周囲に延設された複数の可撓性プレートと、前記各複数のプレートの先端に立設された針状チップを有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
1軸を中心に回転可能な本体と、前記本体の周囲に延設された複数の可撓性プレートと、前記各複数のプレートの先端に立設された針状チップを有することを特徴とする走査型顕微鏡用プローブ。
IPC (2):
G01B 7/34 ,  H01J 37/28
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-251705

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