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J-GLOBAL ID：200903030967298338

グラファイト膜の形成方法

Inventor： 横田 律子 ,  藤原 琴二
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 前田 実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996145445
Publication number (International publication number)：1997330661
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガラスパネルから一旦剥がれたグラファイト膜の再付着を防止したグラファイト膜の形成方法を提供する。【解決手段】 最初のスプレー現像では、まず純水をノズル5からガラスパネル2に12秒間だけスプレーする。その後に、シーケンス制御によりポンプ22を作動させて、界面活性剤溶液をノズル21から5秒間、約 500ccだけ、すすぎ液としてガラスパネル2に流しかける。さらに、ガラスパネル2はキャリア1によって次のスプレー現像のポジションに移動され、再び同様のスプレー現像が行われる。これにより、ガラスパネル2内面のグラファイト膜と剥離されたグラファイト膜の微片とにそれぞれ界面活性剤が作用して、ガラスパネル2やその表面に形成されたグラファイト膜と、そこから剥離した微片との間での電気的な反発力が促進され、グラファイト膜の微片の再付着を防止できる。

Claim (excerpt)：

ガラスパネル内面にホトレジストのモザイクパターンを形成し、その後、光吸収性のグラファイト膜をガラスパネル全面に形成してから酸化剤を含むエッチング液で前記ホトレジストのモザイクパターンをエッチングし、前記ホトレジストとともにその上のグラファイト膜をスプレー現像によって除去することにより、前記ガラスパネル内面にモザイク状のグラファイト膜を形成するグラファイト膜の形成方法において、前記グラファイト膜に界面活性剤を作用させることを特徴とするグラファイト膜の形成方法。

IPC (8)：

H01J 9/227 ,  C03C 17/22 ,  C23F 1/00 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/00 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/32 501 ,  G03F 7/40 521

FI (8)：

H01J 9/227 D ,  C03C 17/22 Z ,  C23F 1/00 A ,  G02B 5/00 B ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/32 501 ,  G03F 7/40 521 ,  G02B 1/10 Z