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J-GLOBAL ID：200903030969251452

シランを含む副産液体流から微粒ケイ素の分離方法

Inventor： リチャード・アンソニー・バージー ,  オーエン・アルバード・ヘング
Applicant, Patent owner： ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
Agent (1)： ウオーレン・ジー・シミオール
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992106661
Publication number (International publication number)：1994166512
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：

【要約】【目的】 シランを含有する副産液体流から微粒ケイ素を分離する方法を提供する。【構成】 シランと微粒ケイ素から成る副産液体流を加熱帯域に噴霧して液体シランを気化させ、微粒ケイ素を乾燥させる。乾燥した微粒ケイ素は濾過又は他の適当な手段によって気体シランから分離する。分離された固相および気相は副産物流を生成するプロセスへのフイードとして又は他のプロセス用フイードとして使用される。

Claim (excerpt)：

(A)シランと微粒ケイ素から成る副産液体流を霧化する工程、(B)霧化された副産液体流をシランが気体シランに転化するのに十分な温度に保持された加熱帯域に通す工程、および(C)気体シランを微粒ケイ素から分離する工程、から成ることを特徴とするシランを含む副産液体流から微粒ケイ素の分離方法。

IPC (2)：

C01B 33/18 ,  B01D 1/16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-277193