Pat
J-GLOBAL ID:200903030994250908
セッター
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
渡邉 一平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994031568
Publication number (International publication number):1995243771
Application date: Mar. 01, 1994
Publication date: Sep. 19, 1995
Summary:
【要約】【構成】 ムライトとコージェライトの微粒粉または粗粒を、重量比で20:80〜80:20の割合で配合し、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であるセッター。セラミック質粗粒を、ムライトとコージェライトの混合微粉を結合材として結合したセッターで、ムライトとコージェライトを、重量比で20:80〜80:20の割合で配合し、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であるセッター。【効果】 耐スポーリング性が向上し、微小クラックの発生が抑えられ、セッターの寿命を延ばすことができる。
Claim (excerpt):
Al2O3・SiO2系鉱物からなり、ムライトとコージェライトの総量が全体の50%以上であるセッターにおいて、ムライト粗粒とコージェライト微粒の配合比が重量で20:80〜80:20であり、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であることを特徴とするセッター。
IPC (3):
F27D 3/12
, C04B 35/18
, C04B 35/64
FI (2):
C04B 35/18 Z
, C04B 35/64 J
Return to Previous Page