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J-GLOBAL ID：200903030999075489

ワークの洗浄方法及び洗浄装置

Inventor： 菅井 準一
Applicant, Patent owner： スピードファムクリーンシステム株式会社
Agent (1)： 下田 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992289618
Publication number (International publication number)：1994114356
Application date： Oct. 03, 1992
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：

【要約】【構成】 洗浄槽1内に設けた、ワークが抜け落ちない間隙孔部を持ったワーク収納容器2にワークを載置して洗浄するものにおいて、前記洗浄槽1内に接続する洗浄液配管の入口と出口間にポンプ3を設け、差圧を掛けてワーク収納容器2内を洗浄液が強制的に通過するようにしたワークの洗浄方法及び洗浄装置。【効果】 各ワークの間隙をポンプにより洗浄液が強制的に通過するので、充分な洗浄効果を得ることができる。さらに、差圧力を調整することでワークが押し込まれる力を加減でき、破損し易いワークを損傷することなく洗浄することができる。

Claim (excerpt)：

洗浄槽内に設けた、ワークが抜け落ちない間隙孔部を持ったワーク収納容器にワークを載置して洗浄する方法において、前記洗浄槽内に接続する洗浄液配管の入口と出口間に、差圧を掛けてワーク収納容器内を洗浄液が強制的に通過するようにしたことを特徴とするワークの洗浄方法。

IPC (3)：

B08B 3/04 ,  C23G 5/04 ,  H01L 21/304 341