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J-GLOBAL ID:200903031000089590

反射型光フアイバセンサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991205938
Publication number (International publication number):1993099624
Application date: Aug. 16, 1991
Publication date: Apr. 23, 1993
Summary:
【要約】【目的】 反射型光センサの分解能を向上し、微細な傷検査を可能とする。【構成】 レーザー光を発するレーザー光源1と、末端に受光素子が配置された受光側光ファイバ3とを、レーザー光源1から照射されるレーザー光の検査対象面Sにおける照射範囲と、受光側光ファイバ3の検査対象面Sにおける受光範囲の少なくとも一部が重複するように、支持体5によって共に支持している。この支持体5の内部には、レーザー光を収束させるレンズ4も設けられている。
Claim (excerpt):
レーザー光を発するレーザー光源と、末端に受光素子が配置された受光側光ファイバとを、前記レーザー光源から照射されるレーザー光の検査対象面における照射範囲と、前記受光側光ファイバの前記検査対象面における受光範囲の少なくとも一部が重複するように、支持体によって共に支持したことを特徴とする反射型光ファイバセンサ。
IPC (4):
G01B 11/00 ,  G01J 1/02 ,  G01N 21/47 ,  G01N 21/88

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